國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“工藝腔室及半導(dǎo)體工藝設(shè)備”的專利，公開號(hào) CN 119495543 A，申請(qǐng)日期為2023年8月。

專利摘要顯示，本發(fā)明提供一種工藝腔室，包括：腔體、設(shè)置于腔體內(nèi)的隔離組件和射頻線圈，射頻線圈用于激發(fā)發(fā)生腔的氣體產(chǎn)生等離子體，射頻線圈的兩端包括引出段和引入段，引出段和引入段貫穿腔體并伸至腔體外；第一密封組件，連接于引出段和引入段以及腔體，用于密封引出段和引入段貫穿腔體的位置；第二密封組件，連接于引出段和引入段，用于密封第一密封件與引出段和引入段之間的連接處。本公開不僅利用第一密封組件對(duì)封引出段和引入段貫穿腔體的位置進(jìn)行密封，還利用第二密封組件對(duì)第一密封件與引出段和引入段之間的連接處也進(jìn)行了密封雙重密封提高了在射頻線圈處的密封性。本申請(qǐng)還提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

天眼查資料顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以從事電氣機(jī)械和器材制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本114153.708311萬(wàn)人民幣，實(shí)繳資本114153.708311萬(wàn)人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司共對(duì)外投資了8家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目1007次，知識(shí)產(chǎn)權(quán)方面有商標(biāo)信息38條，專利信息5000條，此外企業(yè)還擁有行政許可339個(gè)。