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北京大學(xué)申請(qǐng)半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)專利

發(fā)表于:2023-12-27 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,北京大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用“,公開號(hào)CN117293183A,申請(qǐng)日期為2023年9月。

專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用,屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提出的半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)中,互補(bǔ)溝道層材料為氧化物半導(dǎo)體材料,具有寬禁帶的特點(diǎn),可以獲得較低的器件關(guān)態(tài)電流,且利用溝道層材料為輕摻雜或者無(wú)摻雜的半導(dǎo)體襯底材料,與摻雜類型相反的源區(qū)和漏區(qū)一起組成了具體低泄漏電流特性的反偏PIN結(jié)。此外,由于漏區(qū)與底層?xùn)艑?dǎo)電層之間存在著一定大小的橫向間距,使得靠近漏區(qū)的溝道層表面不受柵控,可以進(jìn)一步降低器件的關(guān)態(tài)電流。因此,本發(fā)明提出的半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu),關(guān)態(tài)電流明顯低于相同尺寸、相同半導(dǎo)體襯底材料的CMOS器件。

(來(lái)源:金融界)